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申请/专利权人：FEI公司
申请日：2023-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263074A
主分类号：H01J37/147
分类号：H01J37/147;H01J37/08;H01J37/10;H01J37/244;H01J37/26
优先权：["20221228 US 63/435624"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：用于自对准离子柱的方法。本文公开了用于带电粒子束显微镜的校准的系统和方法，该系统包括被配置为生成包括具有已知能量的多个带电粒子的CPB的源；至少一个透镜；检测器；以及控制器。根据各种所公开的实施方案，该控制器能够基于校准特性来确定该CPB显微镜需要重新校准。基于该确定，该控制器能够操作该源以生成校准CPB并且将该至少一个透镜配置为充当带电粒子镜。该控制器能够从与在从该带电粒子镜反射之后的该多个带电粒子相关联的该检测器接收数据。该控制器然后能够分析来自该检测器的该数据并且基于来自该检测器的该数据中的校准特性来自动地重新校准该CPB显微镜。
主权项：1.一种带电粒子束CPB系统，包括：源，所述源被配置为产生包括多个带电粒子的CPB；至少一个透镜元件，所述至少一个透镜元件由多个电极形成，其中所述透镜元件被配置为基于所述多个电极中的至少一个电极两端的电压而作为反射镜操作；检测器元件，所述检测器元件用于从所接收的信号生成校准数据；以及控制器，其中通过以下操作来确定所述CPB系统的校准特性：将所述透镜元件配置为作为所述反射镜操作；将所述CPB反射到所述检测器以生成所述校准数据；以及使用所述控制器基于所述校准数据来确定所述CPB系统的对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于自对准离子柱的方法
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