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申请/专利权人：奇跃公司
申请日：2020-06-23
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN114051458B
主分类号：B41M1/12
分类号：B41M1/12;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/60
优先权：["20190624 US 62/865,715","20190827 US 62/892,427"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.07.05#实质审查的生效;2022.02.15#公开
摘要：一种将模板与目镜晶圆对准的方法包括：提供模板；相对于第一光源定位模板；以及确定至少两个模板孔的位置。该方法还包括提供目镜晶圆。目镜晶圆包括至少两个目镜波导，每个目镜波导包括耦入光栅和对应的衍射图案。该方法还包括引导来自一个或多个第二光源的光以照射到对应的衍射图案中的每一个上；对从每个耦入光栅衍射的光进行成像；确定至少两个耦入光栅位置；确定对应的模板孔位置和耦入光栅位置之间的偏移；以及基于所确定的偏移，将模板与目镜晶圆对准。
主权项：1.一种将模板与目镜晶圆对准的方法，所述方法包括：提供所述模板；相对于第一光源定位所述模板；基于来自所述第一光源的光，确定至少两个模板孔的位置；提供所述目镜晶圆，其中，所述目镜晶圆包括至少两个目镜波导，每个目镜波导包括耦入光栅和对应的衍射图案；引导来自第二光源的光以照射到所述对应的衍射图案中的每一个上；经由全内反射将来自所述第二光源的所述光的至少一部分重定向到所述耦入光栅中的每一个；对从每个耦入光栅衍射的来自所述第二光源的所述光进行成像；确定至少两个耦入光栅位置；确定对应的模板孔位置与耦入光栅位置之间的偏移；以及基于所确定的偏移，将所述模板与所述目镜晶圆对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奇跃公司 聚合物图案化磁盘堆叠制造
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