申请/专利权人：东莞锐视光电科技有限公司

申请日：2023-08-21

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN116774406B

主分类号：G02B13/00

分类号：G02B13/00;G02B17/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2023.10.10#实质审查的生效;2023.09.19#公开

摘要：本申请涉及光刻镜头技术领域，尤其涉及一种光刻镜头，包括：第一透镜组件和导光装置。第一透镜组件包括透镜座和至少一个光学透镜，光学透镜安装于透镜座。导光装置包括壳体和至少一个反射组件，反射组件安装于壳体。在光束的传播过程中通过第一透镜组件改变光束的出射光角，以使光束的出射光角符合预期要求。光束从入光口进入壳体，再经反射组件反射，使光束的路径呈折线形，从而在不减小光束的传播距离的情况下减小设备尺寸长度。由于光束的传播距离未减小，因此光束有足够的传播距离，以使从光刻镜头的照射区域的面积扩大至预期范围。如此，减小光刻镜头的尺寸，并且使光刻镜头的出射光的准直性以及照射区域面积在预期范围内。

主权项：1.一种光刻镜头，其特征在于，包括：用于改变光束出射光角的第一透镜组件，所述第一透镜组件包括透镜座和至少一个光学透镜，所述光学透镜均安装于所述透镜座；以及用于改变光束传播方向的导光装置，所述导光装置包括壳体和至少一个反射组件，所述反射组件均安装于所述壳体；其中，所述壳体设置有入光口和出光口，所述透镜座安装于所述入光口，所述出光口安装有第五透镜；所述光学透镜的数量为四个，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜以及第四透镜沿入射光束的传播方向依次共轴设置；当光束进入所述光刻镜头后，光束依次经过所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜、第四透镜、所述导光装置；当光束进入所述透镜座后，依次经过所述光学透镜，所述光学透镜改变光束的出射光角；当光束从所述入光口进入所述壳体后，光束在所述反射组件之间传播，以使光束的传播路径呈折线形，并从所述出光口射出；所述反射组件的数量为三个，包括第一反射件、第二反射件以及第三反射件；所述第一反射件包括第一反射面，所述第二反射件包括第二反射面，所述第三反射件包括第三反射面；所述第一反射面朝向所述入光口，所述第二反射面朝向所述第一反射面，所述第三反射面朝向所述第二反射面以及所述出光口；其中，在光束的传播过程中，光束依次经过所述第一反射面、所述第二反射面以及第三反射面，以使光束的传播路径呈折线形；定义所述第一透镜物侧面的曲率向量为R11，所述第一透镜像侧面的曲率向量为R12；所述第二透镜物侧面的曲率向量为R21，所述第二透镜像侧面的曲率向量为R22；所述第三透镜物侧面的曲率向量为R31，所述第三透镜像侧面的曲率向量为R32；所述第四透镜物侧面的曲率向量为R41，所述第四透镜像侧面的曲率向量为R42；所述第五透镜物侧面的曲率向量为R51，所述第五透镜像侧面的曲率向量为R52；朝向物侧面的方向为正，朝向像侧面的方向为负，则有：40mmR1160mm，-70mmR12-50mm；-20mmR21-6mm，-30mmR22-10mm；80mmR31100mm，50mmR3285mm；R41=∞，-85mmR42-35mm；2500mmR513500mm，-3500mmR52-2500mm；定义所述第一透镜的焦距为f1，所述第二透镜的焦距为f2，所述第三透镜的焦距为f3，所述第四透镜的焦距为f4，所述第五透镜的焦距为f5，则有：60mm≤f1≤70mm，-75mm≤f2≤-60mm，-750mm≤f3≤-640mm，75mm≤f4≤100mm，3690mm≤f5≤3730mm。

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