申请/专利权人:艾迈斯-欧司朗国际有限责任公司
申请日:2022-11-17
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118265918A
主分类号:G01R31/26
分类号:G01R31/26;H01L21/66
优先权:["20211117 DE 102021130077.0"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本发明涉及一种包括多个光电子器件4的晶片1,其中晶片1包括用于检查光电子器件4中的至少一个光电子器件的至少一个参数的机构。
主权项:1.一种包括多个光电子器件4的晶片1,其特征在于,所述晶片1包括用于检查所述光电子器件4中的至少一个光电子器件的至少一个参数、尤其光学参数和或电学参数的机构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 艾迈斯-欧司朗国际有限责任公司 用于测试光电子器件的设备和方法
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