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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日：2022-08-08
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118265670A
主分类号：B81C1/00
分类号：B81C1/00
优先权：["20210920 DE 102021210383.9"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：微机械构件100，具有：‑衬底1；‑布置在衬底1上的至少一个第一氧化物层2；和‑直接布置在所述至少一个第一氧化物层2上的蚀刻停止层3；其中，在所述蚀刻停止层3的下侧上布置有另外的布线平面10。
主权项：1.微机械构件100，具有：-衬底1；-布置在所述衬底1上的至少一个第一氧化物层2；和-直接布置在所述至少一个第一氧化物层2上的蚀刻停止层3；其中，在所述蚀刻停止层3的下侧上布置有另外的布线平面10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械构件
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