申请/专利权人:创微微电子(常州)有限公司
申请日:2024-04-02
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118263088A
主分类号:H01J37/32
分类号:H01J37/32
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本发明公开了一种等离子发射装置、等离子体处理装置。其中等离子发射装置,包括射频电力分配电路和至少一个等离子天线,等离子天线包括至少两个天线部,所述天线部按序排布,使得所述等离子天线呈螺旋状;每个天线部串联一与该天线部一一对应设置的阻抗调节电路,形成一天线电路;所述射频电力分配电路与各天线电路的阻抗调节电路相配合,分别调整流经各天线电路的电流量。本发明的各天线电路的阻抗可调,因而可以调整天线每个部分的电磁场强度。
主权项:1.一种等离子发射装置,包括:射频电力分配电路和至少一个等离子天线,其特征在于,所述等离子天线包括至少两个天线部,所述天线部按序排布,使得所述等离子天线呈螺旋状;每个天线部串联一与该天线部一一对应设置的阻抗调节电路,形成一天线电路;所述射频电力分配电路与各天线电路的阻抗调节电路相配合,分别调整流经各天线电路的电流量。
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权利要求:
百度查询: 创微微电子(常州)有限公司 等离子发射装置、等离子体处理装置
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