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光子-光子共振面发射激光器 

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申请/专利权人:吉光半导体科技有限公司

摘要:本实用新型涉及半导体激光器技术领域,尤其涉及光子‑光子共振面发射激光器,包括N型衬底,在N型衬底上依次制备有N型高掺杂层、N型DBR层、有源层、电流限制层和P型DBR层,P型DBR层包括一个主腔P型DBR层和至少一个副腔P型DBR层,主腔P型DBR层、有源层与N型DBR层构成主谐振腔,副腔P型DBR层、有源层与N型DBR层构成副谐振腔,在主谐振腔的表面刻蚀有用于控制偏振方向的光栅,主谐振腔与副谐振腔的形状和或尺寸不同。本实用新型能够通过调节台面的形状和尺寸,调节器件的偏振态。通过调节光栅结构的占空比,实现模式选择,最终实现单模偏振的低噪声高速光子‑光子共振面发射激光器。

主权项:1.一种光子-光子共振面发射激光器,包括N型衬底,在所述N型衬底上依次制备有N型高掺杂层、N型DBR层、有源层和P型DBR层,在所述P型DBR层与所述有源层之间和或所述N型DBR层与所述有源层之间制备有电流限制层,所述P型DBR层包括一个主腔P型DBR层和至少一个副腔P型DBR层,所述主腔P型DBR层、所述有源层与所述N型DBR层构成主谐振腔,所述副腔P型DBR层、所述有源层与所述N型DBR层构成副谐振腔,在所述主腔P型DBR层上制备有主腔P型电极,在所述副腔P型DBR层上制备有副腔P型电极,在所述N型高掺杂层上制备有N型电极,其特征在于,在所述主腔P型DBR层上刻蚀有表面光栅,所述主谐振腔与所述副谐振腔的形状和或尺寸不同。

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