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摘要：提供了一种用于检查对象的表面的设备。在使用对象内的二次谐波产生的半导体检查中以高灵敏度检测弱的二次谐波。在将具有非常短的脉冲宽度的脉冲激光照射到作为对象的半导体装置的表面上并测量在半导体装置内产生的二次谐波的半导体检查设备中，二次谐波产生元件设置在光源和对象间以产生第一二次谐波。此外，该装置使用电光晶体仅调制第一二次谐波的相位，然后将基波照射到对象上。当基波照射到半导体装置上时，从其产生第二二次谐波。第一二次谐波在检测器上与第二二次谐波干涉，并且通过干涉获得的光的强度以与第一二次谐波的相位调制的周期相同的周期被调制。第二二次谐波的振幅可从其调制振幅获得且第二二次谐波的相位可从其调制相位测量。
主权项：1.一种用于检查对象的表面的设备，所述设备包括：光源，其用于发出预定波长的脉冲激光；二次谐波产生元件，其被配置为产生所述脉冲激光的第一二次谐波；相位调制元件，其被配置为以预定频率调制所述第一二次谐波的相位；照明光学系统，其被配置为将所述脉冲激光和所述第一二次谐波照射到所述对象的所述表面上，所述对象接收向其照射的所述脉冲激光以产生第二二次谐波；收光光学系统，其被配置为在所述第一二次谐波和所述第二二次谐波彼此同轴时允许所述第一二次谐波和所述第二二次谐波入射到检测器上；以及所述检测器，其被配置为接收所述第一二次谐波和所述第二二次谐波并且将所述第一二次谐波和所述第二二次谐波转换成电信号，其中，所述第二二次谐波的强度是从具有调制强度的所述电信号的振幅获得的。
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百度查询： 三星电子株式会社 用于检查对象的表面的设备
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