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申请/专利权人：重庆邮电大学;电子科技大学重庆微电子产业技术研究院
摘要：本发明涉及半导体器件领域，尤其涉及一种基于多项式拟合的声表面波谐振器COM参数提取方法，包括采用实测拟合法提取多组COM参数，对每一组COM参数及其对应的谐振频率进行中心化和缩放，得到中心化缩放COM参数和中心化缩放谐振频率；定义9阶多项式模型组，并采用加权残差优化方法处理得到最优9阶多项式模型组；将目标谐振频率进行中心化和缩放后输入最优9阶多项式模型组，得到目标中心化缩放COM参数；将目标中心化缩放COM参数还原后代入COM模型得到目标谐振器的电声特性曲线；本发明能够实现声表面波谐振器的快速、精确模拟。
主权项：1.一种基于多项式拟合的声表面波谐振器COM参数提取方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.采用实测拟合法提取多组COM参数，所述COM参数包括声速、换能系数、反射系数和静态电容；S2.对每一组COM参数及其对应的谐振频率进行中心化和缩放，得到对应的中心化缩放COM参数和中心化缩放谐振频率；所述中心化缩放COM参数包括中心化缩放声速、中心化缩放换能系数、中心化缩放反射系数和中心化缩放静态电容；S3.定义中心化缩放谐振频率与中心化缩放COM参数间的9阶多项式模型组；S4.结合中心化缩放谐振频率和中心化缩放COM参数，采用加权残差优化方法处理9阶多项式模型组得到对应的最优9阶多项式模型组；S5.将目标谐振器对应的目标谐振频率进行中心化和缩放后输入最优9阶多项式模型组，得到目标中心化缩放COM参数；S6.对目标中心化缩放COM参数进行还原得到目标COM参数，将目标COM参数代入COM模型得到目标谐振器的电声特性曲线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆邮电大学 电子科技大学重庆微电子产业技术研究院 一种基于多项式拟合的声表面波谐振器COM参数提取方法
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