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申请/专利权人：瑞声科技(新加坡)有限公司
摘要：根据本发明提供的薄膜体声波谐振器的制备方法包括提供具有顶面的基底；在所述基底的所述顶面上形成介电材料层；在所述介电材料层的远离所述基底的表面上形成底部电极；在所述底部电极的远离所述基底的表面上形成压电材料层；在所述压电材料层的远离所述基底的表面上形成中间金属层；在所述中间金属层的远离所述基底的表面上形成质量负载层；和在所述质量负载层的远离所述基底的表面上形成顶部电极。以这种方式，增加了工艺选择，并且增加了在顶部电极下方和具有薄膜体声波谐振器的滤波器中形成薄膜体声波谐振器的多质量负载的灵活性，从而提高了滤波器的灵敏度。
主权项：1.一种制备薄膜体声波谐振器的制备方法，包括：提供具有顶面的基底；在所述基底的所述顶面上形成介电材料层；在所述介电材料层的远离所述基底的表面上形成底部电极；在所述底部电极的远离所述基底的表面上形成压电材料层；在所述压电材料层的远离所述基底的表面上形成中间金属层；在所述中间金属层的远离所述基底的表面上形成质量负载层；和在所述质量负载层的远离所述基底的表面上形成顶部电极；其中，所述中间金属层被设置为保护所述压电材料层在在所述中间金属层的远离所述基底的表面上形成所述质量负载层以及在所述质量负载层的远离所述基底的表面上形成所述顶部电极时不受影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声科技(新加坡)有限公司 薄膜体声波谐振器制备方法，薄膜体声波谐振器，滤波器
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