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申请/专利权人:华映科技(集团)股份有限公司
摘要:一种Topcom显示面板的制造方法,包括:在玻璃基板上形成第一金属层、第一绝缘层,对第一绝缘层进行开孔,为第一过孔,用于使第二金属层与部分栅极金属层相连接;沉积一层有源层、第二金属层、第二绝缘层涂布一层有机光阻,源极位置进行开孔,为第二过孔;沉积第一透明电极层、第三绝缘层,对第三绝缘层进行开孔,为第三至第五过孔;第三过孔、第四过孔:使公共电极桥接像素电极与源极金属层;第五过孔:使公共电极与触控金属层相连接;沉积第二透明电极层。本发明在基于9道Mask制程followTop‑comTIC显示驱动设计原理情况下,减少一道Mask及对应的制程,以达到降低生产成本,提高生产效益的目的。
主权项:1.一种Topcom显示面板的制造方法,其特征在于:包括如下步骤:第一步:采用PVD方式在玻璃基板上沉积并图案化形成第一金属层,为栅极金属层;第二步:采用CVD方式沉积一层第一绝缘层,为栅极绝缘层;第三步:对第一绝缘层进行开孔,为第一过孔,用于使第二金属层与部分栅极金属层相连接;第四步:采用PVD方式沉积一层有源层,并进行图案化;第五步:采用PVD方式沉积并图案化形成第二金属层,为源漏极金属层和触控金属层,此处触控金属层与源漏极金属层为同层金属;第六步:采用CVD方式沉积一层第二绝缘层,为钝化绝缘层;第七步:涂布一层有机光阻,作为平坦层并进行图案化,源极位置进行开孔,为第二过孔;第八步:采用PVD方式沉积第一透明电极层,并进行图案化,此电极层作为像素电极;第九步:采用CVD方式沉积一层第三绝缘层,该第三绝缘层在面内作为像素电容;第十步:对第三绝缘层进行开孔,为第三过孔、第四过孔、第五过孔;第三过孔、第四过孔:使公共电极桥接像素电极与源极金属层;第五过孔:使公共电极与触控金属层相连接;第十一步:采用PVD方式沉积第二透明电极层,并进行图案化,此电极层作为公共电极。
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权利要求:
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