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申请/专利权人：天通瑞宏科技有限公司
摘要：本发明公开了一种声表面波谐振器，该声表面波谐振器包括：复合晶圆；复合晶圆包括叠层设置的支撑衬底以及压电层；叉指换能器，位于复合晶圆的一侧；叉指换能器包括多个叉指电极，多个叉指电极包括多个第一电极和多个第二电极，第一电极与第二电极沿第一方向依次交替设置且均沿第二方向延伸，沿第二方向，第一电极的延伸长度小于第二电极的延伸长度；其中，支撑衬底的厚度H1满足：150μm≤H1≤2000μm；压电层的厚度H2满足：300nm≤H2≤1500nm。采用上述技术手段，复合晶圆包括叠层设置的支撑衬底以及压电层，使声表面波谐振器具有较好的热沉效应，可加快散热，提高功率耐受性，进而提高谐振器的性能。
主权项：1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：复合晶圆；所述复合晶圆包括叠层设置的支撑衬底以及压电层；叉指换能器，位于所述复合晶圆的一侧；所述叉指换能器包括多个叉指电极，多个所述叉指电极包括多个第一电极和多个第二电极，所述第一电极与所述第二电极沿第一方向依次交替设置且均沿第二方向延伸，沿所述第二方向，所述第一电极的延伸长度小于所述第二电极的延伸长度；所述第一方向与所述第二方向相交；其中，所述支撑衬底的厚度H1满足：150μm≤H1≤2000μm；所述压电层的厚度H2满足：300nm≤H2≤1500nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天通瑞宏科技有限公司 一种声表面波谐振器
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