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申请/专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日：2024-01-31
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118027279A
主分类号：C08F220/32
分类号：C08F220/32;C08F220/18;C08F2/01;G03F7/004
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：本发明适用于化工技术领域，提供了一种用微通道技术合成ArF光刻胶树脂与光刻胶的方法，单体化合物A与单体化合物B在引发剂存在的条件下，在微通道反应器中发生聚合反应，合成聚合物ArF光刻胶树脂，该树脂具有高度的尺寸控制、分子均一性等优良性能，而且其聚合过程的温度可控性高、产品得率高、生产效率高、质量稳定。
主权项：1.一种用微通道技术合成ArF光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，单体化合物A与单体化合物B在引发剂存在的条件下，在微通道反应器中发生聚合反应，合成聚合物ArF光刻胶树脂；其中，单体化合物A为式1的化合物， 式1中，R1为H、甲基、乙基、三氟甲基，R2为0～5个碳的烷烃，R3为3～20个碳的环烷烃、多环烷烃；单体化合物B为式2的化合物， 式2中，R4为H、甲基、乙基、三氟甲基，R5为H，R6为3～20个碳的环内酯、多元环内酯。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波南大光电材料有限公司 一种用微通道技术合成ArF光刻胶树脂与光刻胶的方法
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