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申请/专利权人：江西中科南新材料科技研发中心有限公司
摘要：本发明提供一种粘附性好的ArF光刻胶组合物及其制备工艺，属于电路制造材料技术领域；其制备工艺包括以下步骤：加入环烯烃制备改性马来酸酐；加入溴乙酸叔丁酯并反应制备光刻胶成膜树脂；加入三氟甲磺酸钾溶液制备光致产酸剂；加入二叔丁基二碳酸酯制备增酸剂；避光震荡混合各组分。本发明通过以溴乙酸叔丁酯与5‑降冰片烯‑2‑甲醛为原料进行反应，再加入盐酸继续反应制成单体A，然后将单体A与降冰片烯、改性马来酸酐和偶氮二异丁腈混合反应制成光刻胶成膜树脂，其中，由于羟基和酸敏基团的引入，能够提高成膜树脂在有机溶剂和显影液中的溶解性，进而提高所制得ArF光刻胶的粘附性和感度。
主权项：1.一种粘附性好的ArF光刻胶组合物，其特征在于，以质量百分数计，包括：15-25％光刻胶成膜树脂、2-3％光致产酸剂、0.3-0.5％增酸剂，其余为有机溶剂。
全文数据：
权利要求：
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