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申请/专利权人：南通大学
摘要：本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器。本发明提供的Lamb波谐振器，包括压电振动结构、配置于压电振动结构上表面的顶部叉指电极、配置于压电振动结构下表面的底部叉指电极、配置于顶部叉指电极Bus区域上表面的声学减速带结构。本发明申请的具有声学减速带结构的Lamb波谐振器，具有高品质因数、高有效机电耦合系数的特点，能够实现大带宽且显著抑制带内纹波的滤波器。
主权项：1.一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器，所述Lamb波谐振器的工作频率为410-420MHz，其特征在于，包括声学减速带结构5，所述声学减速带结构5为配置于所述顶部Bus区域4上表面的金属薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通大学 一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器
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