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一种P型HBC电池结构及其制备方法 

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申请/专利权人:江苏爱康能源研究院有限公司;浙江爱康新能源科技股份有限公司

摘要:本发明涉及的一种P型HBC电池结构及其制备方法,它包括P型硅衬底,所述P型硅衬底的背面中部设有一块P型重掺杂区,所述P型硅衬底的正面和背面均设有非晶硅本征层,所述P型硅衬底的背面的非晶硅本征层的外侧设有N型非晶硅掺杂层,所述P型硅衬底的正面的非晶硅本征层的外侧设有SiNX减反膜;所述N型非晶硅掺杂层的外侧设有TCO导电膜;所述TCO导电膜的外侧设有若干N型Ag电极,所述TCO导电膜上设有一个槽口,槽口的深度贯穿TCO导电膜和N型非晶硅掺杂层,使得P型重掺杂区的底部裸露,所述P型重掺杂区的底部连接P型Ag电极。本发明用铝浆料预烧结方式实现了局部的P++层,实现了对硅片热处理及吸杂处理,提高了硅片内在品质。

主权项:1.一种P型HBC电池结构的制备方法,其特征在于,包括以下内容:步骤一、硅片清洗:选取P型硅片,对其进行制绒、清洗处理;硅片经高效清洗后制绒,硅片的正面形成绒面层;步骤二、印刷铝浆:在硅片的背面单面印刷,浆料为铝浆,印刷的位置为电池的P型重掺杂区;步骤三、高温烧结:将印刷后的硅片放入炉体中,在炉体中进行烧结,铝浆与硅片基体形成欧姆接触,形成P型重掺杂区域;步骤四、硅片清洗:将高温烧结后的硅片高效清洗,烧结后的铝浆依然裸露于硅片表面,铝浆的厚度确保能和低温银浆形成接触;步骤五、双面本征层及N型非晶硅掺杂层镀膜:通过PECVD技术在电池片的正背面上均分别镀上本征非晶硅薄膜,形成非晶硅本征层;通过PECVD技术在电池片的背面镀上N型非晶硅掺杂层;步骤六、减反膜制备:通过PECVD方法在电池片的正面镀上SiNX减反膜;步骤七、TCO导电膜沉积:通过采用PVD设备技术在电池片上镀透明的TCO导电膜;步骤八、激光开槽:在电池片背面的P型重掺杂区的底部激光开槽,激光消融TCO导电膜、N型非晶硅掺杂层及非晶硅本征层,将铝浆料裸露在硅片表面;步骤九、电极印刷及烧结:通过丝网印刷工艺分别在电池背面印刷P型银浆和N型银浆,P型和N型的浆料均为低温银浆料;通过低温烧结后,N型低温银浆与TCO膜层形成连接;通过低温烧结后,P型低温银浆料和铝浆料实现欧姆接触;步骤十、分选测试:通过分选测试挑选需电池片。

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权利要求:

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