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申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆制造领域内的一种用于loadport的排风装置，包括晶圆装卸台，所述晶圆装卸台包括可升降的平台和壳体，所述平台用于放置晶舟，所述平台设置在丝杆的螺母上，所述丝杆通过联轴器与电机的转轴同轴设置，所述壳体与平台之间构成内腔，所述内腔中设置有板卡，所述板卡与电机电性连接，所述壳体的外侧对应板卡设置有散热装置。本实用新型能够解决loadport不易散热导致板卡异常的问题，降低了板卡异常发生的频率从而提升了人员作业效率。
主权项：1.一种用于loadport的排风装置，包括晶圆装卸台，其特征在于，所述晶圆装卸台包括可升降的平台和壳体，所述平台用于放置晶舟，所述平台设置在丝杆的螺母上，所述丝杆通过联轴器与电机的转轴同轴设置，所述壳体与平台之间构成内腔，所述内腔中设置有板卡，所述板卡与电机电性连接，所述壳体的外侧对应板卡设置有散热装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种用于load port的排风装置
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