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申请/专利权人：深圳市轴心自控技术有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，并提供一种用于LoadPort对接多类型晶圆盒的快换机构，包括气路对接板、对接吸盘、电信号对接板和磁吸端子连接器，对接吸盘的接触晶圆盒面板端的内部设置橡胶吸盘，橡胶吸盘的连接端与对接吸盘的固定端连接，橡胶吸盘用于对接晶圆盒面板的内部气路；对接吸盘的连接端固定设置于气路对接板的接触晶圆盒面板端，对接吸盘用于晶圆盒面板的固定；磁吸端子连接器的连接端固定设置于电信号对接板的接触晶圆盒面板端，磁吸端子连接器用于对接晶圆盒面板的内部的电路；本实用新型在同一台LoadPort上兼容FOUP和Cassette等多种类型晶圆盒，用于快速切换多种晶圆盒面板，进而快速对接不同类型晶圆盒；切换晶圆盒面板时，无需人工接线、接管。
主权项：1.一种用于LoadPort对接多类型晶圆盒的快换机构，其特征在于，用于快速更换晶圆盒面板的快换机构，所述快换机构包括气路对接板2、对接吸盘3、电信号对接板4和磁吸端子连接器5，所述对接吸盘3的接触晶圆盒面板端的内部设置橡胶吸盘31，所述橡胶吸盘31的连接端与所述对接吸盘3的固定端连接，所述橡胶吸盘31用于对接晶圆盒面板的内部气路；所述对接吸盘3的连接端固定设置于所述气路对接板2的接触晶圆盒面板端，所述对接吸盘3用于晶圆盒面板的固定；所述磁吸端子连接器5的连接端固定设置于所述电信号对接板4的接触晶圆盒面板端，所述磁吸端子连接器5用于对接晶圆盒面板的内部的电路；所述对接吸盘3吸合晶圆盒面板时，所述橡胶吸盘31自动对接晶圆盒面板内部的气路，所述磁吸端子连接器5自动对接晶圆盒面板内部的电路。
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权利要求：
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