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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种高纯锆靶材及其制备方法和应用，属于材料加工技术领域；本发明提供的一种高纯锆靶材的制备方法中，通过对高纯锆铸锭依次采用一次锻造、二次锻造、轧制、退火处理、机加等过程，并且通过控制一次锻造和二次锻造前的保温温度以及每次墩粗拔长的变形率、轧制的加热温度以及退火温度，能够有效的避免高纯锆靶材产生内部缺陷，还能有效的细化晶粒，从而能够得到内部组织均匀，晶粒大小在60μm以内的高纯锆靶材；并且，本发明提供的高纯锆靶的材制备方法工艺简单，流程简短，操作简单，可操作性、可重复性强。
主权项：1.一种高纯锆靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1对高纯锆铸锭进行一次锻造，所述一次锻造采用镦粗拔长的方式，每次镦粗拔长的变形率≥50％，一次锻造后空冷；2对步骤1空冷后的工件进行二次锻造，所述二次锻造采用镦粗拔长的方式，每次墩粗拔长的变形率≥50％，二次锻造后空冷；3对步骤2空冷后的工件加热至900℃以上，随后轧制，轧制变形量为80-90％，轧制结束后空冷；4对步骤3空冷后的工件进行退火，退火温度为550-650℃，退火后空冷；5将步骤4空冷后的工件进行机加，机加后与铜背板绑定抛光，得高纯锆靶材；所述一次锻造和二次锻造前分别还包括保温步骤，保温的温度≥900℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种高纯锆靶材及其制备方法和应用
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