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申请/专利权人：华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种LoadPort中用于兼容多款料盒的装载平台，属于半导体智能制造技术领域，所述的LoadPort包括竖直设置的竖板，所述竖板的一侧水平固定有横板，所述横板的内部开设有活动窗口，所述活动窗口的内部设置有用于放置晶圆料盒的装载平台，本装载平台包括固定在活动窗口内部的几字形支架和滑动设置在几字形支架上方的活动板，所述几字形支架的支臂上通过第一连接板固定有丝杆电机，丝杆电机的输出轴上固定有第一丝杆，第一丝杆上螺纹连接有第一螺母，第一螺母上固定有第二连接板，所述活动板的下方设置有能够将晶圆料盒定位在活动板上的锁止机构。本实用新型可以适配国产料盒底部锁止特征尺寸不一的情况，从而提高装载平台的适用范围。
主权项：1.一种LoadPort中用于兼容多款料盒的装载平台，所述的LoadPort包括竖直设置的竖板1，所述竖板1的上部开设有装载窗口1a，所述的装载窗口1a中设置有能够将其打开或者关闭的活动门2，所述竖板1的一侧水平固定有横板3，所述横板3的内部开设有活动窗口3a，所述活动窗口3a的内部设置有用于放置晶圆料盒的装载平台，其特征在于，本装载平台包括固定在活动窗口3a内部的几字形支架5和滑动设置在几字形支架5上方的活动板4，所述几字形支架5的支臂上通过第一连接板7固定有丝杆电机6，丝杆电机6的输出轴上固定有第一丝杆8，第一丝杆8上螺纹连接有第一螺母9，第一螺母9上固定有第二连接板10，所述活动板4的下表面固连有第一滑轨11，所述的第一滑轨11上滑动设置有第一滑块12，所述的第一滑块12与第二连接板10固连，所述的活动板4与第二连接板10之间还设置有缓冲结构13；所述活动板4的下方设置有能够将晶圆料盒定位在活动板4上的锁止机构14。
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