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申请/专利权人:天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要:本发明公开了一种高硬度AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层及其制备,属于复合涂层制备技术领域。所述多层复合涂层是由AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层依次循环叠加而成,涂层调制周期为50‑800nm,周期数≥4。该多层复合涂层均为面心立方结构,没有硬度低的六方相生成。本发明制备出的涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强与基材结合力大于95N,具有较高的硬度大于30GPa和强度,良好的耐磨损性能。
主权项:1.一种高硬度AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层,其特征在于:该多层复合涂层沉积于304不锈钢片或硬质合金基体上,所述AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层是由AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层依次循环叠加而成,涂层调制周期为50-800nm,周期数≥4;所述AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层的调制比为3:1:1:1,沉积涂层总厚度控制为3μm;所述AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层,由面心立方结构的纳米晶镶嵌于非晶层中形成纳米复合结构,没有低硬度的六方相生成,涂层沿Cr,AlN的110晶面和200晶面择优生长;所述多层复合涂层的制备是采用电弧离子镀膜技术先在基体上沉积CrN过渡层,再在CrN过渡层上依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层,从而获得所述AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层;该工艺中,靶材选择纯金属Cr靶、AlCr合金靶和AlCrSi合金靶,靶材纯度均为99.9wt.%;沉积各层时,弧流均设置为60~100A。
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