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申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要：本发明公开了一种AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。该工艺采用电弧离子镀膜技术镀膜，靶材选取金属Cr靶、AlCr靶、AlCrSi靶。镀膜前先通入氩气辉光放电清洗，随后开启Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后沉积CrN过渡层，最后通入氮气和氧气作为反应气体，交替开启AlCrSi靶和AlCr靶，依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层。本发明制备的多层纳米复合涂层工艺简单，涂层组织结构致密、涂层与基体间结合力强，具有较高的硬度和强度，良好的耐磨损性能。
主权项：1.一种AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺，其特征在于：该工艺是采用电弧离子镀膜技术先在基体上沉积CrN过渡层，再在CrN过渡层上依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层，从而获得所述AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层纳米复合涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺
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