恭喜台湾永光化学工业股份有限公司林伯南获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾永光化学工业股份有限公司申请的专利聚酰亚胺正型光阻组成物及其用途获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114326301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110628509.0,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权聚酰亚胺正型光阻组成物及其用途是由林伯南;林诣婕;黎振立;叶子瑭;周乃天;黄新义;林昭文设计研发完成,并于2021-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本聚酰亚胺正型光阻组成物及其用途在说明书摘要公布了:本发明提供一种聚酰亚胺正型光阻组成物,包括:一树脂成分;一交联剂;一感光剂;以及一溶剂。其中,树脂成分包括:30wt%至90wt%之聚酰亚胺树脂;1wt%至60wt%之双酚类树脂;以及0.1wt%至10wt%之聚硅烷树脂。本发明还提供前述光阻组成物的用途。
本发明授权聚酰亚胺正型光阻组成物及其用途在权利要求书中公布了:1.一种聚酰亚胺正型光阻组成物,包括:一树脂成分,包括:30wt%至90wt%的聚酰亚胺树脂;1wt%至60wt%的双酚类树脂,其中该双酚类树脂是由一双酚F与一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂;以及0.1wt%至10wt%的聚硅烷树脂;一交联剂;一感光剂;以及一溶剂;其中该聚酰亚胺树脂如下式I所示: I其中,n为整数,分子量介于3000至20000之间。
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