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龙图腾网恭喜杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种吹气型晶圆传片系统及操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582769B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210079640.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种吹气型晶圆传片系统及操作方法是由程博;赵延祥;刘波设计研发完成，并于2022-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种吹气型晶圆传片系统及操作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种吹气型晶圆传片系统及操作方法，包括支撑台，所述支撑台的底部固定连接有底座，所述支撑台的顶部固定连接有传输箱，所述支撑台的前侧固定连接有第一传输板和第二传输板，所述第一传输板的内部设置有顶出机构，本发明涉及晶圆传输技术领域。该吹气型晶圆传片系统及操作方法，通过设置有转向传输机构，利用驱动电机带动驱动转轴的转动，驱动转轴带动了连接杆和卡柱在十字轮的卡槽中移动，以此实现了转动板和提取箱的转动，并通过提取板对晶圆进行夹紧，以此实现了对晶圆的夹紧，从而避免了吸附产生掉落的问题，并且实现了间歇的转向，达到精确定位和传输的目的，以此提高了晶圆传片的效率。

本发明授权一种吹气型晶圆传片系统及操作方法在权利要求书中公布了：1.一种吹气型晶圆传片系统，包括支撑台（1），所述支撑台（1）的底部固定连接有底座（2），所述支撑台（1）的顶部固定连接有传输箱（3），其特征在于：所述支撑台（1）的前侧固定连接有第一传输板（4）和第二传输板（5），所述第一传输板（4）的内部设置有顶出机构（6），所述传输箱（3）的内部设置有转向传输机构（7）；所述转向传输机构（7）中包括驱动电机（71）和第一气缸（72），所述第一气缸（72）的底部滑动连接有第一活塞杆（73），所述第一活塞杆（73）的一端固定连接有转动板（74），所述转动板（74）的一端设置有晶圆提取机构（75），所述驱动电机（71）输出轴的一端通过联轴器固定连接有驱动转轴（76），所述驱动转轴（76）的表面设置有晶圆推出机构（77），所述驱动转轴（76）的底部固定连接有连接杆（78），所述连接杆（78）的表面固定连接有卡柱（79），所述传输箱（3）的内部转动连接有支撑转轴（710），所述支撑转轴（710）的表面固定连接有十字轮（711），所述十字轮（711）的表面开设有卡槽（712），所述卡柱（79）与卡槽（712）的表面滑动连接，所述支撑转轴（710）的底端与第一气缸（72）的顶部固定连接；所述晶圆提取机构（75）中包括转动盘（75-1）和固定安装在转动板（74）底部的提取箱（75-2），所述提取箱（75-2）的内部开设有放置槽（75-3），所述放置槽（75-3）的内表面固定连接有弹簧（75-4），所述弹簧（75-4）的一端固定连接有移动板（75-5），且移动板（75-5）与放置槽（75-3）的内表面滑动连接，所述移动板（75-5）的底部固定连接有圆弧板（75-6），所述圆弧板（75-6）的底部通过支杆固定连接有提取板（75-7），提取箱（75-2）的底部开设有移动槽（75-8），所述圆弧板（75-6）在移动槽（75-8）的内部移动，所述转动盘（75-1）的底部固定连接有转动杆（75-9），所述转动杆（75-9）的底部固定连接有椭圆板（75-10），所述椭圆板（75-10）的表面与圆弧板（75-6）的表面接触；所述晶圆推出机构（77）中包括由传动组件（77-1）传动的传动转轴（77-2），所述传动转轴（77-2）的顶端与传输箱（3）的内壁转动连接，所述传动转轴（77-2）的底部固定连接有传动齿轮（77-3），所述传输箱（3）的内壁滑动连接有传动齿条（77-4），所述传动齿轮（77-3）与传动齿条（77-4）的表面啮合，所述传动齿条（77-4）的一端固定连接有推出架（77-5），所述传动组件（77-1）中包括驱动轮（77-11）和传动轮（77-12），所述驱动轮（77-11）固定安装在驱动转轴（76）的表面，所述传动轮（77-12）固定安装在传动转轴（77-2）的表面，所述驱动轮（77-11）和传动轮（77-12）的表面通过传动皮带（77-13）传动连接；所述顶出机构（6）中包括第二气缸（61）和固定块（62），所述固定块（62）的底部与第一传输板（4）的内部固定连接，所述第二气缸（61）的一侧滑动连接有第二活塞杆（63），所述第二气缸（61）和第二活塞杆（63）的互相远离端均固定连接有支撑杆（64），所述支撑杆（64）的一端固定连接有支撑块（65），所述支撑块（65）的表面通过支杆转动连接有第一转杆（66）和第二转杆（67），所述第一转杆（66）的表面转动连接有顶起块（68），所述顶起块（68）的顶部固定连接有圆弧板（69）。

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