恭喜应用材料公司H·桑达拉拉贾恩获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利化学机械抛光的温度控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111512425B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980006568.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权化学机械抛光的温度控制是由H·桑达拉拉贾恩;S-S·常;H·吴;J·唐;吴政勋;R·巴贾杰;A·锡尔迪亚设计研发完成，并于2019-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光的温度控制在说明书摘要公布了：一种化学机械抛光设备包括压板、载体、分配器和温度控制系统，压板保持抛光垫，载体在抛光工艺期间保持基板抵靠抛光垫的抛光表面，分配器向抛光表面供应抛光液，温度控制系统包含主体，所述主体经配置以接触抛光表面或抛光表面上的抛光液。主体支撑定位在抛光垫上的热控制模块。
本发明授权化学机械抛光的温度控制在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光的设备，包括：压板，所述压板保持抛光垫，其中所述压板可绕轴旋转；载体，所述载体在抛光工艺期间保持基板抵靠所述抛光垫的抛光表面；以及供应口，所述供应口位于所述压板上方以将抛光液供应到所述抛光垫的所述抛光表面；温度控制系统，所述温度控制系统包含多个热控制模块，所述多个热控制模块由温度控制臂支撑并且位于所述抛光垫上方的多个不同的径向位置，以加热或冷却所述抛光垫的多个区域，所述多个区域中的每一者在所述抛光垫上的不同环形区域内，并且其中所述多个热控制模块中的每个热控制模块经配置独立地加热或冷却所述抛光垫的径向区域，其中每个热控制模块包括分配器，所述分配器经配置以将气体或液体输送到所述抛光垫上并且在所述抛光垫的所述表面上的所述区域内的所述多个区域中的区域上，并且当所述压板旋转时每个区域都圆形地扫过所述抛光垫，并且其中离所述轴较远的区域沿角度方向宽于更靠近所述轴的区域。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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