恭喜三和技研股份有限公司曾敏智获国家专利权
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龙图腾网恭喜三和技研股份有限公司申请的专利晶圆缺口整平装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111769067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010728131.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆缺口整平装置是由曾敏智;萧擎宇设计研发完成，并于2020-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺口整平装置在说明书摘要公布了：本发明提出一种晶圆缺口整平装置，是包含：一本体、一第一转动部、一定位部、一动力部及一控制单元，其中，本体具有一支撑部、且两端各设置有一枢接部枢接多个支撑臂，枢接部、第一转动部及定位部电性连接动力部，动力部电性连接控制单元；特别要说的是，当多个晶圆放置于支撑部上固定，通过控制单元电性连接动力部驱动第一转动部转动多个晶圆，将晶圆上一缺口通过定位部进行整平。
本发明授权晶圆缺口整平装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺口整平装置，其特征在于，包含：一本体，具有一支撑部，且两端各设置有一枢接部，所述枢接部枢接多个支撑臂，所述支撑臂更具有一第一方向支撑臂及一第二方向支撑臂，所述第一方向支撑臂及所述第二方向支撑臂连接时的第一夹角A为90度；一第一转动部，具有一驱动轮及一辅助轮；一定位部，设有一定位件及一脱离支点；一动力部，具有一第一动力件电性连接所述枢接部用以驱动所述支撑臂进行升降作动、一第二动力件电性连接所述第一转动部使其转动及一第三动力件电性连接所述定位部使其进行升降作动；及一控制单元电性连接所述动力部，用以控制各部件的设置及操作；当一晶圆转动，在所述定位件卡入所述晶圆边缘的一缺口，造成所述晶圆位移，此时所述脱离支点顶住位移的所述晶圆并将所述晶圆顶起，同时所述晶圆因位移而脱离与所述驱动轮接触并停止转动。
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