恭喜朗姆研究公司拉梅什·钱德拉塞卡拉获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利利用基于TCR元件的加热器渐进式加热衬底的部件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112585738B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980052766.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权利用基于TCR元件的加热器渐进式加热衬底的部件是由拉梅什·钱德拉塞卡拉;伊斯瓦·斯里尼瓦桑设计研发完成，并于2019-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用基于TCR元件的加热器渐进式加热衬底的部件在说明书摘要公布了：一种用于衬底处理系统的加热部件的加热器控制系统包含N个加热器区域，其中N为大于零的整数。所述N个加热器区域中的每一个加热所述衬底处理系统的部件，并且包含电阻式加热器以及温度传感器，该温度传感器用于感测所述N个加热器区域中的对应的加热器区域的局部温度。控制器被配置成：基于所述N个加热器区域中的每一个中的所述电阻式加热器的电阻，确定所述N个加热器区域中的每一个的平均温度。所述控制器基于所述N个加热器区域中的每一个的所述平均温度与所述局部温度控制所述电阻式加热器。
本发明授权利用基于TCR元件的加热器渐进式加热衬底的部件在权利要求书中公布了：1.一种用于加热衬底处理系统的部件的加热器控制系统，其包含：N个加热器区域，其中N为大于零的整数，其中所述N个加热器区域中的每一个加热所述衬底处理系统的部件，并且包含：电阻式加热器；以及布置在预计会发生温度变化的第一位置或第二位置的温度传感器，其用于感测所述N个加热器区域中的对应的加热器区域的局部温度；以及控制器，其被配置成：基于所述N个加热器区域中的每一个中的所述电阻式加热器的电阻，确定所述N个加热器区域中的每一个的平均温度，以及基于所述N个加热器区域中的每一个的所述平均温度与所述局部温度控制所述电阻式加热器，其中，当所述温度传感器布置在所述第一位置时，电阻加热器的控制方式与当温度传感器布置在所述第二位置时不同。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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