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龙图腾网恭喜上海迷思科技有限公司申请的专利双层悬浮红外热电堆及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113394331B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110662171.0，技术领域涉及：H10N10/01；该发明授权双层悬浮红外热电堆及其制备方法是由倪藻;李伟设计研发完成，并于2021-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本双层悬浮红外热电堆及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种双层悬浮红外热电堆及其制备方法，通过在红外吸收层吸收部下引入导热反射层，可提高吸收率，并将热量更快、更多地集中到热结端，有利于增大探测信号，提高探测性能；进一步的，通过设置预设牺牲层，使得具有较小宽度的刻蚀窗口即可形成具有较大宽度的隔热空腔，可提高热电堆的结构布局的灵活性，提高器件空间利用率；进一步的，可在最后一道步骤中同时形成双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。本发明的双层悬浮红外热电堆采用单面加工的加工方法，具有工艺简单、成品率高的优点，适合大批量生产。

本发明授权双层悬浮红外热电堆及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种双层悬浮红外热电堆的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底；于所述衬底上形成热电偶复合层，所述热电偶复合层包括覆盖所述衬底的支撑介质层，以及位于所述支撑介质层上的热偶材料层、电绝缘层及金属互联层；图形化所述热电偶复合层，形成显露所述衬底的刻蚀窗口；形成覆盖所述热电偶复合层及刻蚀窗口的牺牲层；形成覆盖所述牺牲层的导热反射层；图形化所述牺牲层及导热反射层，于热电偶的热结端形成显露所述电绝缘层的沟槽；形成红外吸收层，所述红外吸收层包括覆盖所述沟槽且与所述电绝缘层相接触的红外吸收层接触部及覆盖所述导热反射层的红外吸收层吸收部，所述红外吸收层接触部位于所述红外吸收层的中央位置；采用湿法腐蚀，去除所述牺牲层形成间隔间隙，释放带有所述导热反射层的红外吸收层吸收部，形成第二层悬浮结构，且自所述刻蚀窗口去除部分所述衬底形成隔热空腔，释放所述热电偶复合层形成第一层悬浮结构。

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