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摘要:本实用新型适用于电连接结构技术领域,尤其涉及一种加热单元电连接结构及单晶炉台,加热单元电连接结构包括第一侧加热单元和第二侧加热单元,第一侧加热单元包括第一侧发热板和与第一侧发热板连接的第一脚板,第一脚板具有条形槽,第二侧加热单元包括第二侧发热板和与第二侧发热板连接的第二脚板,第二脚板设置在条形槽内,第一脚板和第二脚板均用于与复合电极连接。由于第一脚板和第二脚板集成设置在同一区域并与复合电极连接,从而减少脚板的发热量,即可以降低单晶晶棒拉制过程中坩埚侧壁的温度,减缓坩埚侧壁熔硅和石英坩埚的对流,进一步降低熔硅中的氧含量,降低了晶棒氧含量。
主权项:1.一种加热单元电连接结构,其特征在于,包括第一侧加热单元和第二侧加热单元;所述第一侧加热单元包括第一侧发热板和与所述第一侧发热板连接的第一脚板,所述第一脚板具有条形槽;所述第二侧加热单元包括第二侧发热板和与所述第二侧发热板连接的第二脚板,所述第二脚板设置在所述条形槽内;所述第一脚板和所述第二脚板均用于与复合电极连接。
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