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一种晶圆凸块防脱落装置 

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摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体为一种晶圆凸块防脱落装置,包括底座,所述底座的顶部分别固定安装有左支撑杆和右支撑杆,所述底座的上方具有用于放置晶圆产品的固定板,所述固定板的左右两侧具有与所述左支撑杆和右支撑杆转动安装的转动杆,所述固定板的右侧具有用于转动固定板的调节组件,所述固定板的中心开设有圆孔。本装置结构简单,操作方便,通过转动转把能够对固定板进行翻转,对放置在固定板上的晶圆产品进行正反面的检测,通过对转动辊转动带动对应的螺杆转动,可以使得夹持杆相对运动,使得夹持杆通过夹持块对晶圆产品进行夹持固定牢固的效果,能够有效避免晶圆产品脱落,防滑脱效果较好。

主权项:1.一种晶圆凸块防脱落装置,包括底座1,所述底座1的顶部分别固定安装有左支撑杆2和右支撑杆3,其特征在于:所述底座1的上方具有用于放置晶圆产品的固定板4,所述固定板4的左右两侧具有与所述左支撑杆2和右支撑杆3转动安装的转动杆8,所述固定板4的右侧具有用于转动固定板4的调节组件,所述固定板4的中心开设有圆孔5,所述圆孔5的上表面具有放置晶圆的垫片6,所述固定板4的上表面具有用于夹持晶圆的防脱落组件,所述防脱落组件包括两个夹持杆7,所述夹持杆7具有用于夹持固定晶圆的夹持块14。

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