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带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法 

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摘要:本发明涉及一种带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法,包括以下步骤:在第一载板的正面溅射出种子层,在种子层上涂覆出光阻层;将光阻层图案化;在光阻层图案化的深孔和切割道内填充金属柱;将金属柱外侧的光阻层和种子层去除;在第一载板的正面压膜;对压膜层的正面进行减薄;将带凸点芯片焊接到金属柱上,用第一树脂料进行包封;将第一载板剥离;沿切割道切割成芯片单元;将芯片单元与不带凸点裸芯通过它们的正面贴装到键合膜上;将芯片单元和不带凸点裸芯用第二树脂料进行包封;通过对键合膜进行解键合将第二载板拆除,得到带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片。本发明极大的提高了封装的可靠性,提升了产品成品率和良率。

主权项:1.一种带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法,其特征是该方法包括以下步骤:S1、提供第一载板(101),在第一载板(101)的正面溅射出种子层(102),在种子层(102)上涂覆出光阻层(103);S2、将光阻层(103)图案化,形成深孔和切割道标志;S3、在光阻层(103)图案化的深孔和切割道内填充金属柱(104),金属柱(104)的正面低于光阻层(103)的正面;S4、将金属柱(104)外侧的光阻层(103)和种子层(102)去除,露出第一载板(101)的部分正面;S5、在第一载板(101)的正面采用膜层材料进行压膜,形成压膜层(105),压膜层(105)将金属柱(104)包覆在其中;S6、对压膜层(105)的正面进行减薄,直至露出金属柱(104);S7、将带凸点芯片(106)采用底填料(107)并通过底部填充方式焊接到金属柱(104)上;S8、将焊接有带凸点芯片(106)的表面用第一树脂料(108)进行包封;S9、将第一载板(101)剥离;S10、沿所述切割道切割成芯片单元(109);S11、提供第二载板(110)与不带凸点裸芯(112),先在第二载板(110)的正面贴覆键合膜(111),再将芯片单元(109)与不带凸点裸芯(112)通过它们的正面贴装到键合膜(111)上;S12、将芯片单元(109)和不带凸点裸芯(112)用第二树脂料(113)进行包封;S13、通过对键合膜(111)进行解键合将第二载板(110)拆除,得到带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片。

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