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多密封气体腔室的旋转接头 

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摘要:本申请涉及一种多密封气体腔室的旋转接头,包括:旋转接头壳体、转动主轴和密封结构,旋转接头壳体为分层结构,包括顶盖和多个分层接头壳体,侧壁开设有气源接口,分层接头壳体为中空的环状结构,顶侧端面设有贯穿的连接螺栓孔和安装螺栓孔,任意两个分层接头壳体可拆卸连接,顶盖设置在多个可拆卸连接的分层接头壳体顶部密封连接,密封结构设置在旋转接头壳体的气体腔室内部密封相邻两个气源接口,转动主轴为杆状结构,依次穿过多个密封结构设置在旋转接头壳体的内部,与研磨头连接传送气体,旋转接头壳体设计为多个分层接头壳体组装而成,从而可以将密封结构设置在相邻两个分层接头壳体之间后再进行组装。

主权项:1.一种多密封气体腔室的旋转接头,其特征在于,包括:旋转接头壳体、转动主轴和密封结构;所述旋转接头壳体内部设有多个气体腔室,长度方向一端设有开口,且所述旋转接头壳体的侧壁沿长度方向开设有多个连通的气源接口,所述旋转接头壳体为分层结构,包括顶盖和多个分层接头壳体,所述分层接头壳体为中空的环状结构,顶侧端面设有贯穿的连接螺栓孔和安装螺栓孔,任意两个所述分层接头壳体可拆卸连接,所述顶盖设置在多个可拆卸连接的所述分层接头壳体顶部密封连接;所述密封结构设置在所述旋转接头壳体的气体腔室内部,密封相邻两个所述气源接口;所述转动主轴为杆状结构,依次穿过多个所述密封结构设置在所述旋转接头壳体的内部,且所述转动主轴的底部与所述研磨头连接,所述研磨头带动所述转动主轴相对所述旋转接头壳体转动,所述转动主轴侧壁沿轴长方向依次设有多个气源通孔,多个所述气源通孔连通至所述转动主轴的底部,多个所述气源通孔与多个所述气源接头一一对应且连通。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京瑞迅创达精密技术有限公司 多密封气体腔室的旋转接头

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