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摘要:本发明提供了一种四氯化硅的纯化系统和方法。本申请提供的四氯化硅的纯化系统包括催化反应单元和精馏纯化单元,催化反应单元包括气相反应器,用于将气相的待纯化四氯化硅与氯化氢在催化剂的作用下反应,得到纯化四氯化硅和低沸物的混合物,将纯化四氯化硅和低沸物的混合物进行精馏分离,得到纯化四氯化硅。本申请提供的四氯化硅的纯化系统催化反应单元将待纯化四氯化硅中的甲基氯硅烷催化转化为四氯化硅和低沸物,再通过精馏纯化单元将四氯化硅与低沸物精馏分离,得到纯化四氯化硅和低沸物,系统简单,工艺流程短,能够适用于工业化生产,同时还避免剧毒物氯气的使用,更安全环保。
主权项:1.一种四氯化硅的纯化系统,其特征在于,所述纯化系统包括:催化反应单元,所述催化反应单元包括气相反应器21,所述气相反应器21中装填有催化剂,所述气相反应器21用于将气相的待纯化四氯化硅与氯化氢混合在催化剂的作用下进行反应,得到纯化四氯化硅和低沸物的混合物;所述催化剂包括载体和活性成分,且所述活性成分在所述催化剂中的质量含量为1~30%;所述载体为分子筛或沸石,所述活性成分选自三氯化铝、氯化铜、氯化锌、铝、铜、钯或铂中的至少一种;精馏纯化单元,所述精馏纯化单元包括精馏塔31,所述精馏塔31与所述气相反应器21连接,用于将所述纯化四氯化硅和低沸物的混合物进行精馏分离,得到纯化四氯化硅和低沸物。
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