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一种反光膜表面三维缺陷形貌检测装置及检测方法 

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摘要:本发明公开了一种反光膜表面三维缺陷形貌检测装置及检测方法,检测方法包括:将待检测的反光膜放置在不透光的载物台上;选择匹配波长的光源照射反光膜,使其反射率满足要求;利用散射屏接收经反光膜反射的光线,散射屏的面型被预先设计为能够使表面不存在缺陷的反光膜标准样品在散射屏上的投影满足光强均匀性要求;利用图像采集装置采集散射屏上的图像信息;确定所采集的图像信息中与反光膜对应的目标图像区域;根据阈值分割法对目标图像区域进行像素分析,若存在灰度值跳变,则确定反光膜表面存在三维缺陷。本发明替代直接对反光膜成像检测,而是间接分析反光膜的投影是否均匀来判定膜表面三维缺陷形貌,无需昂贵的相机,降低检测成本。

主权项:1.一种反光膜表面三维缺陷形貌检测装置,其特征在于,包括:不透光载物台(1),其被配置为托载待检测的反光膜(10);光源(2),其被配置为照射所述不透光载物台(1);散射屏(3),其被配置为接收所述光源(2)发射的并经所述不透光载物台(1)上的反光膜(10)反射后的光线;图像采集装置(4),其被配置为采集所述散射屏(3)上的图像信息;图像分析模块,其被配置为执行以下步骤:确定所述图像采集装置(4)采集的图像中与所述反光膜(10)对应的目标图像区域;根据阈值分割法对所述目标图像区域进行像素分析,以确定所述目标图像区域内是否存在局部区域的像素灰度值与相邻区域的像素灰度值的差值超过预设的第一灰度阈值;若是,则确定所述反光膜(10)表面存在三维缺陷;否则确定所述反光膜(10)表面不存在三维缺陷。

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