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摘要：本申请涉及一种导电聚合物层，其位于静电卡盘上。所述导电聚合物层包括导电聚合物及光敏聚合物。所述导电聚合物的导电性促进通过所述导电聚合物层进行的电荷消散，而所述光敏聚合物的光敏性允许所述导电聚合物层的表面被光图案化。所述导电聚合物层导电及光敏的程度可通过变动所述导电聚合物及所述光敏聚合物的相对量来调节。
主权项：1.一种装置，其包括：静电卡盘；及导电聚合物层，其位于所述静电卡盘上，其中所述导电聚合物层包括导电聚合物及光敏聚合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恩特格里斯公司 用于电荷消散的导电聚合物层
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