买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
摘要:本发明提供一种基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法、装置、设备和存储介质;所述基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法,包括以下步骤:根据选定的晶体规格,获取对应的开叉检测模型的模型参数;所述模型参数包括晶体长度区间窗口△L和比例阈值R;获取在晶体生长过程中放肩阶段的生产数据;所述生产数据包括:晶体长度、晶体直径和工步时间;通过开叉检测模型检测晶体是否放肩开叉。本发明在放肩阶段开始后,可实时检测晶体是否放肩开叉;占用存储空间小;自动化程度和一致性高;可支持大量单晶炉在线检测。
主权项:1.一种基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法,其特征在于,包括以下步骤:根据选定的晶体规格,获取对应的开叉检测模型的模型参数;所述模型参数包括晶体长度区间窗口△L和比例阈值R;获取在晶体生长过程中放肩阶段的生产数据;所述生产数据包括:晶体长度、晶体直径和工步时间;通过开叉检测模型检测晶体是否放肩开叉。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡唯因特数据技术有限公司 基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法、装置、设备和存储介质
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。