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基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法、装置、设备和存储介质 

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摘要:本发明提供一种基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法、装置、设备和存储介质;所述基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法,包括以下步骤:根据选定的晶体规格,获取对应的开叉检测模型的模型参数;所述模型参数包括晶体长度区间窗口△L和比例阈值R;获取在晶体生长过程中放肩阶段的生产数据;所述生产数据包括:晶体长度、晶体直径和工步时间;通过开叉检测模型检测晶体是否放肩开叉。本发明在放肩阶段开始后,可实时检测晶体是否放肩开叉;占用存储空间小;自动化程度和一致性高;可支持大量单晶炉在线检测。

主权项:1.一种基于生产数据的单晶硅放肩开叉检测方法,其特征在于,包括以下步骤:根据选定的晶体规格,获取对应的开叉检测模型的模型参数;所述模型参数包括晶体长度区间窗口△L和比例阈值R;获取在晶体生长过程中放肩阶段的生产数据;所述生产数据包括:晶体长度、晶体直径和工步时间;通过开叉检测模型检测晶体是否放肩开叉。

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