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一种离子阱质量分析器及其制作方法 

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摘要:本发明公开了一种离子阱质量分析器及其制作方法,特点是:在一张多层印制电路板上制作的具有中心对称轴的三维结构,多层印制电路板的各层垂直于中心对称轴,多层印制电路板包含多个导电层,各个导电层作为电极,其中最外侧的导电层作为屏蔽电极,用于屏蔽外部电场,次外侧的导电层作为端盖电极,中间的导电层通过平行于中心对称轴的金属镀层相连作为环电极,沿中心对称轴从上到下依次为屏蔽电极、端盖电极、环电极、端盖电极、屏蔽电极,屏蔽电极和端盖电极均沿中心对称轴设有中心圆孔,各个电极之间绝缘,优点是:用多层印制电路板制得的质量分析器结构简单,降低加工难度,质量分辨率高,提高了质谱仪系统的性价比。

主权项:1.一种离子阱质量分析器,其特征在于,是在一张多层印制电路板上制作的具有中心对称轴的三维结构,所述的多层印制电路板的各层垂直于所述的中心对称轴,所述的多层印制电路板包含多个导电层,各个所述的导电层作为电极,其中最外侧的导电层作为屏蔽电极,用于屏蔽外部电场,次外侧的导电层作为端盖电极,中间的导电层通过平行于所述的中心对称轴的金属镀层相连,作为环电极,所述的屏蔽电极和所述的端盖电极均沿所述的中心对称轴设有中心圆孔,各个电极之间绝缘。

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