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摘要：本发明公开的一种COF封测用蚀刻装置，属于封装基板技术领域，包括用于支撑和固定的支撑板一，所述支撑板一的上端安装有支撑台，所述支撑台的上壁分别安装有驱动调控组件、清洁组件和干燥组件，所述支撑台上壁还安装有支撑板二，所述支撑板二的上壁上安装有连接固定组件，所述连接固定组件的下端活动设于清洁组件内，所述驱动调控组件分别与清洁组件、连接固定组件和干燥组件相连，速度降低的清洁液对基板进行缓和冲洗，既克服了快速运动的清洗液容易对基板造成损伤，静止的清洗液又不容易冲刷污垢的缺陷，在不损伤基板的情况下，增加了对基板的清洁度，同时还具备烘干功能。
主权项：1.一种COF封测用蚀刻装置，包括用于支撑和固定的支撑板一，所述支撑板一的上端安装有支撑台，其特征在于，所述支撑台的上壁分别安装有驱动调控组件、清洁组件和干燥组件，所述支撑台上壁还安装有支撑板二，所述支撑板二的上壁上安装有连接固定组件，所述连接固定组件的下端活动设于清洁组件内，所述驱动调控组件分别与清洁组件、连接固定组件和干燥组件相连；所述驱动调控组件包括支撑座二，所述支撑座二设于支撑台上壁上，所述支撑座二的上端活动安装有齿轮一，所述齿轮一侧壁设有轮齿和平整区，所述轮齿和平整区交错放置，所述齿轮一的上壁安装有驱动台，所述驱动台侧壁设有用于限位的槽孔，所述槽孔包括平行槽和V形槽，所述平行槽和V形槽交错放置，相邻两组所述平行槽分别与V形槽的两端贯通连接，且平行槽设于V形槽的上端，所述平行槽设于轮齿的上端，所述V形槽设于平整区的上端；所述清洁组件包括连接轴一，所述连接轴一设于支撑台上壁上，所述连接轴一的上端活动安装有齿轮二，所述齿轮二与齿轮一上的轮齿啮合，所述齿轮二上安装有清洗桶，所述清洗桶内侧壁安装有多组用于对清洗液以及空气搅拌的搅动板，多组所述搅动板呈环形等间隔均匀设于清洗桶内侧壁上。
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百度查询： 江苏上达半导体有限公司 一种COF封测用蚀刻装置
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