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摘要：本文的实施例涉及用于半导体器件的温度感测电路。该电路具有远程温度感测元件RTSE，该RTSE包括在衬底的前侧或后侧上的金属层中形成的金属热敏电阻器。金属热敏电阻器可以是蛇形或螺旋形的。RTSE与另一位置处例如，在衬底上的单独的感测电路通信。RTSE还可以包括在堆叠体的相邻电介质层中或在感测电路内的薄膜电阻器TFR。RTSE在相对端被交替驱动，以抵消电源变化的影响。从金属热敏电阻器与TFR之间的一点处获得表示感测到的温度的输出电压，以供模数转换器处理。
主权项：1.一种装置，包括：衬底；在所述衬底上的堆叠体，所述堆叠体包括通过电介质层彼此分离的多个金属层；在所述多个金属层中的选定金属层中的金属热敏电阻器；与所述金属热敏电阻器串联的薄膜电阻器；以及远离所述金属热敏电阻器的感测电路，其中，所述感测电路耦合到所述金属热敏电阻器，并且用于从所述金属热敏电阻器获得温度数据。
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百度查询： 英特尔公司 具有远程感测支持的基于线性比率式金属电阻器的温度传感器
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