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摘要：本发明公开了一种绝对式圆时栅角位移传感器的温漂自校准方法、系统及工作方法，该方法将激励信号同时输入圆时栅角位移传感器和与初始状态下圆时栅角位移传感器的电容值相匹配的电容器结构内，通过对圆时栅角位移传感器的输出信号和电容器结构的输出信号进行处理，以消除温度变化对圆时栅角位移传感器测量的角位移数据的影响，实现圆时栅角位移传感器的温度自校准。本发明的温漂自校准方法可有效弥补因传感器在机床和环境温度大幅变化而引起的位移精度误差，实现温漂自校准的效果。
主权项：1.一种绝对式圆时栅角位移传感器的温漂自校准方法，其特征在于，将激励信号同时输入圆时栅角位移传感器和与初始状态下圆时栅角位移传感器的电容值相匹配的电容器结构内，通过对圆时栅角位移传感器的输出信号和电容器结构的输出信号进行处理，以消除温度变化对圆时栅角位移传感器测量的角位移数据的影响，实现圆时栅角位移传感器的温度自校准。
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百度查询： 通用技术集团国测时栅科技有限公司 绝对式圆时栅角位移传感器的温漂自校准方法、系统及工作方法
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