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摘要：本发明公开了一种低温漂的压阻式加速度传感器，包括上盖板、支撑框架、压敏电阻、弹簧质量块、敏感梁和下盖板。该结构中压敏电阻构成惠斯通全桥电路，敏感梁位于质量块的四个角上，质量块厚度均匀且有弹簧结构，并分别与敏感梁相连，该结构可以降低敏感梁因焦耳热导致的热变形应力，降低零点漂移，同时保持有较高的固有频率。
主权项：1.一种低温漂的压阻式加速度传感器，其特征包括：上盖板、支撑框架、压敏电阻、弹簧质量块、敏感梁和下盖板；所述敏感梁分别位于质量块的四个角，每个敏感梁上分别布置一个压敏电阻，构成惠斯通全桥电路；所述敏感梁与支撑框架相连；所述支撑框架通过BCB胶分别与上、下盖板粘合；所述质量块带有弹簧结构，分别与敏感梁相连；所述弹簧结构为一折、两折甚至多折结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京智芯传感科技有限公司 一种低温漂的压阻式加速度传感器
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