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微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本公开提供了一种微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法,包括:将微球分散于第一液体中,其中,第一液体容置于一容腔内;以及朝向容腔的局部区域注入第二液体,其中,第二液体的表面能低于第一液体的表面能;随着第二液体由局部区域朝容腔的其它区域扩散,第二液体在容腔内的浓度呈梯度分布,在第二液体的浓度差所产生的表面能差的驱动下,微球朝向第二液体的浓度降低的方向运动。本公开采用浓度梯度诱导的方式实现了驱动微球运动,从而可以快速制备大面积的微球刻蚀掩模及微针阵列,制备效率高,制备成本低。

主权项:1.一种微球驱动方法,其特征在于,包括:将微球分散于第一液体中,其中,所述第一液体容置于一容腔内;以及朝向所述容腔的局部区域注入第二液体,其中,所述第二液体的表面能低于所述第一液体的表面能;随着所述第二液体由所述局部区域朝所述容腔的其它区域扩散,所述第二液体在所述容腔内的浓度呈梯度分布,在所述第二液体的浓度差所产生的表面能差的驱动下,所述微球朝向所述第二液体的浓度降低的方向运动。

全文数据:

权利要求:

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