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申请/专利权人：合肥清溢光电有限公司

摘要：本发明公开了一种掩膜版批量临时存储装置，包括横截面呈U型框状结构的存储架，所述存储架上呈上下位置设置有若干存储层，所述存储层包括分别设置在所述存储架两相对的内侧面上的固定导梁，两所述固定导梁上设置有移动架，所述移动架沿所述固定导梁轴线方向移动进出框状结构的存储架内部区域，所述移动架上设置有夹紧机构；本发明的一种掩膜版批量临时存储装置，具有能够自动存取掩膜版的临时存储装置，能够解决工序的产品堆积问题，同时也能避免对产品造成污染。

主权项：1.一种掩膜版周转系统，其特征在于，包括控制系统、中转装置、AGV和掩膜版批量临时存储装置；所述掩膜版批量临时存储装置包括横截面呈U型框状结构的存储架，所述存储架上呈上下位置设置有若干存储层，所述存储层包括分别设置在所述存储架两相对的内侧面上的固定导梁，两个所述固定导梁上设置有移动架，所述移动架沿所述固定导梁轴线方向移动进出框状结构的存储架内部区域，所述移动架上设置有夹紧机构；所述中转装置包括升降平台和设置在所述升降平台上的中转执行机构；所述控制系统控制升降平台分别适应存储装置上各存储层高度和AGV高度，中转执行机构实现掩膜版在AGV和存储层之间周转；所述AGV上设置有周转执行机构，所述周转执行机构包括两平行设置的支撑臂组，两所述支撑臂组上分别设置有第五螺杆机构，所述第五螺杆机构带动两支撑臂组靠近或远离；所述支撑臂组包括呈上下位置设置的下支撑臂和上支撑臂，上支撑臂长度大于下支撑臂且设置有第六螺杆机构，所述下支撑臂和所述第六螺杆机构上均吊挂有一L型的周转夹紧块，同一支撑臂组上的两L型的周转夹紧块相对设置，第六螺杆机构实现同一支撑臂组上的周转夹紧块相对靠近或远离，两支撑臂组上的四个周转夹紧块由掩膜版的四个顶角位置实现对掩膜版夹紧；放版操作过程：AGV由上一个工序位置将掩膜版接收过来，存储装置和中转装置接收到控制系统和AGV的信号，存储装置和中转装置上的夹具和中转执行机构根据要放置的掩膜版的尺寸调整好尺寸和位置，且中转装置的高度首先调整至与AGV高度相适应状态；然后中转装置将准备好的信息反馈给AGV，AGV运动，将掩膜版放置在中转装置的中转执行机构上；然后AGV移动离开回到待机位置并将信号反馈给中转装置和存储装置；再后，中转装置上升至存储装置上需要存在的指定存储层位置，且处于存储层高度位置的上部位置，完成后将信息反馈给存储装置；再后，存储装置的移动架向外移出，移出至指定位置，移动架上夹具的中轴线与掩膜版中轴线重合，中转装置的中转执行机构下降，掩膜版被转移至存储装置的夹具上，然后中转装置的中转执行机构下降回位至待机位，存储装置上的移动梁带动掩膜版回缩至存储层即可；取版操作过程与放版过程操作相反即可；所述移动架包括分别设置在两个所述固定导梁上且与固定导梁平行的移动梁，所述移动梁底部连接有第一螺杆机构，所述第一螺杆机构设置在所述固定导梁内并与带动所述移动梁沿所述固定导梁移动，实现所述夹紧机构进出框状结构的存储架内部区域；所述夹紧机构包括夹具和夹具安装座，所述夹具安装座包括两个断桥梁，两个所述断桥梁相互平行设置且两端分别搭接在两个移动梁上，两个所述断桥梁底部连接有第二螺杆机构，所述第二螺杆机构设置在移动梁内并带动两个断桥梁相对或相背运动，完成夹具尺寸调节。

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