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摘要：本申请提供了监测目标金属材料的方法及装置，首先向目标金属材料发射超声波，目标金属材料位于晶圆所在的测试环境中，再监测目标金属材料反射的反射波。在反射波的频率未处于目标频率范围内的情况下，认定目标金属材料发生腐蚀。本申请通过监测目标金属材料的腐蚀情况，来间接确定目标金属材料对晶圆的影响，以降低金属腐蚀物扩散到晶圆表面所造成的污染，从而提高晶圆的表面的金属浓度数据的准确性。
主权项：1.一种监测目标金属材料的方法，其特征在于，所述方法包括：向所述目标金属材料发射超声波，其中，所述目标金属材料位于晶圆所在的测试环境中；监测所述目标金属材料反射的反射波；在所述反射波的频率未处于目标频率范围内的情况下，认定所述目标金属材料发生腐蚀。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 监测目标金属材料的方法及装置
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