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一种Z向手动纳米位移平台 

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申请/专利权人:天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

摘要:本实用新型公开了一种Z向手动纳米位移平台,包括一体结构的主体框架、输出动平台、以及布置于主体框架内部的输入动平台、柔性导向机构和传动柔性梁;传动柔性梁下端连接输入动平台,上端连接动平台驱动块,用于将横向输入位移进行缩放和转化,形成垂直的Z向纳米位移输出,传动柔性梁朝输入微分头一侧倾斜,与水平横向形成的夹角为θ,产生初始的位移缩小倍数为tanθ,且传动柔性沿输入微分头的输入方向偏移,使其偏置于结构中心面的一侧;该位移平台为一体结构,只需线切割及机加工,加工简单,成本低,不需要进行装配,易于保证位移精度,故障率低,且结构紧凑,不需配置控制系统和电源系统,利于推广应用。

主权项:1.一种Z向手动纳米位移平台,由输入微分头输入调整位移,其特征在于:包括一体结构的主体框架、输出动平台、以及布置于主体框架内部的输入动平台、柔性导向机构和传动柔性梁;待定位物体放置于所述输出动平台上;其中,所述主体框架呈U形结构,并为具有结构中心面的对称结构,其前、后两侧开口通过背板进行封装,所述输出动平台由所述主体框架上端开口伸出,所述输入微分头安装于所述主体框架一侧,所述输入微分头的驱动推杆穿过所述主体框架的一侧板,与所述输入动平台压触连接;所述输出动平台的下端向下凸出形成动平台驱动块,所述动平台驱动块的两侧分别通过导向平行梁连接相对的所述主体框架的内侧面,两组导向平行梁对称于所述结构中心面,并呈横向水平设置,用于导向所述输出动平台沿Z向微动;所述输入动平台通过所述柔性导向机构连接所述主体框架内部,并经所述柔性导向机构导向沿水平横向微动;所述传动柔性梁下端连接所述输入动平台,上端连接所述动平台驱动块,用于将横向输入位移进行缩放和转化,形成垂直的Z向纳米位移输出,所述传动柔性梁朝所述输入微分头一侧倾斜,与水平横向形成的夹角为θ,产生初始的位移缩小倍数为tanθ,且所述传动柔性沿所述输入微分头的输入方向偏移,使其偏置于所述结构中心面的一侧。

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权利要求:

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