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申请/专利权人：海太半导体(无锡)有限公司
摘要：本实用新型提供一种新型降低半导体载具识别误差装置，包括载具提升设备，载具提升设备内通过提升单元升降载具；机架主体位于载具提升设备的一侧设置，内置气动元件；光纤传感器安装在机架主体上，光纤传感器的感应器正对载具待检测的侧面设置；光纤传感器将接收到的信号传递至控制器对有颜色异常的载具进行识别判定。本实用新型利用光纤传递光，光纤的光传导效率高又可弯曲的特点，在载具的一侧安装有光纤传感器，把反光面磨损不同的载具通过对光线反射后光信号转化为实际测量出来的数字化直观显示，结合凸透镜的作用，有效提升载具识别区分能力。
主权项：1.一种新型降低半导体载具识别误差装置，其特征在于，包括：载具提升设备1，所述载具提升设备1内通过提升单元升降载具2；机架主体3，所述机架主体3位于载具提升设备1的一侧设置，内置气动元件；光纤传感器，所述光纤传感器安装在机架主体3上，所述光纤传感器的感应器4正对载具2待检测的侧面设置；控制器5，所述光纤传感器将接收到的信号传递至控制器5对有颜色异常的载具进行识别判定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 海太半导体(无锡)有限公司 一种新型降低半导体载具识别误差装置
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