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申请/专利权人:日本发条株式会社
摘要:载物台包括:基材,其具有第一面和与第一面相邻的第二面;以及绝缘膜,其包含具有扁平面的多个粒子,扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置,所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面,绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置,延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。
主权项:1.一种载物台,包括:基材,其具有第一面、与所述第一面相邻的第二面、以及形成在所述第一面和所述第二面之间的角部的面;以及绝缘膜,其设置于所述基材,所述绝缘膜包含具有扁平面的多个粒子,并以所述扁平面沿着所述第一面、形成在所述角部的面和所述第二面而与这些面平行的方式设置于所述基材。
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权利要求:
百度查询: 日本发条株式会社 载物台以及载物台的制造方法
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