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申请/专利权人：芯联集成电路制造股份有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置，其中夹爪用晶圆检测装置，包括：运动件、拉绳以及触发单元；所述运动件和所述拉绳均由防腐材质制成；所述拉绳连接于所述运动件与所述触发单元之间，所述运动件运动时用于牵引所述拉绳并拉动所述触发单元使得所述触发单元被触发。该夹爪用晶圆检测装置配备夹爪本体使用，当夹爪本体的插槽内放置有晶圆时且晶圆姿态正确时，可被晶圆检测装置检测到，从而从源头上监控夹爪内晶圆的状态，以消除潜在的风险。
主权项：1.一种夹爪用晶圆检测装置，其特征在于，包括：运动件、拉绳以及触发单元；所述运动件和所述拉绳均由防腐材质制成；所述拉绳连接于所述运动件与所述触发单元之间，所述运动件运动时用于牵引所述拉绳并拉动所述触发单元使得所述触发单元被触发。
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权利要求：
百度查询： 芯联集成电路制造股份有限公司 夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置
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