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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及一种可密封容器，其用于将一或多个衬底运送通过半导体工厂，其包括：外壳，其经配置以容纳仪器化衬底，其中所述仪器化衬底包含一或多个传感器，其中所述一或多个传感器经配置以在所述可密封容器将所述仪器化衬底运送通过所述半导体工厂的一或多个部分时测量所述仪器化衬底的一或多个条件，其中所述仪器化衬底包含衬底通信电路以及以通信方式耦合到所述一或多个传感器及所述衬底通信电路的一或多个处理器；及容器通信电路，其中所述衬底通信电路经配置以将传感器数据从所述一或多个传感器发射到所述容器通信电路，其中所述容器通信电路经配置以将所述传感器数据发射到服务器的服务器通信电路。
主权项：1.一种可密封容器，其用于将一或多个衬底运送通过半导体工厂，其包括：外壳，其经配置以容纳仪器化衬底，其中所述仪器化衬底包含一或多个传感器，其中所述一或多个传感器经配置以在所述可密封容器将所述仪器化衬底运送通过所述半导体工厂的一或多个部分时测量所述仪器化衬底的一或多个条件，其中所述仪器化衬底包含衬底通信电路以及以通信方式耦合到所述一或多个传感器及所述衬底通信电路的一或多个处理器；及容器通信电路，其中所述衬底通信电路经配置以将传感器数据从所述一或多个传感器发射到所述容器通信电路，其中所述容器通信电路经配置以将所述传感器数据发射到服务器的服务器通信电路，其中，所述仪器化衬底的一或多个关键活动基于所述传感器数据被识别，其中所述一或多个关键活动包括所述仪器化衬底的拾取或所述仪器化衬底的放置中的至少一者；所述仪器化衬底通过所述半导体工厂的路径基于来自所述一或多个传感器的振动数据和所述振动数据的测量时间而被确定；且，通过比较测量的传感器数据的分段与在教示序列建立的基线数据集的对应分段而识别所述仪器化衬底的状态的一或多个变化，其中所述测量的传感器数据的分段与所述基线数据集的所述分段至少由所述振动数据定义。
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