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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明提供一种选择衬底上用于测量或特征的部位的最优集合的方法，该方法包括：302：限定约束条件，并且可选地限定成本函数。306：限定部位的第一候选方案。308：基于对所述第一候选方案的方案域中的坐标的修改，限定具有部位的第二候选方案。这可能涉及重复、突变和交叉。310：确定与所述衬底上所需的测量准确性或特征布局相关联的成本函数的值。312：根据与所述衬底相关联的约束并且可选地根据所述成本函数的值，选择所述第一候选方案和或第二候选方案作为所述最优方案。314：如果满足所述约束并且所述成本函数的值已收敛，或者如果已达到一迭代次数，则迭代结束。
主权项：1.一种用于选择最优方案的方法，所述最优方案包括衬底上的部位的最优集合，所述部位与被配置成用于执行特征的测量或放置的位置相关联，所述方法包括以下步骤：限定包括一个或更多个候选方案的第一组，所述第一组的每个候选方案包括部位集合；限定包括一个或更多个候选方案的第二组，所述第二组的每个候选方案包括由来自所述第一组的一个或更多个候选方案的修改而生成的部位集合，其中，所述修改包括从重复、突变和交换中选择的一种或多种操作；以及选择来自所述第一组和或所述第二组的一个或更多个候选方案作为所述最优方案，其中，在限定所述第二组和或选择所述最优方案的步骤中，如果候选方案和或最优方案不满足与当跨过所述衬底分布时测量或特征部位的均匀性的所需的程度相关联的一约束，则拒绝所述候选方案和或所述最优方案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 选择与衬底上的测量或特征相关联的部位的集合
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